Elipsómetro espectroscópico rápido M-2000

de Woollam Co.

El elipsómetro M-2000 combina el método de 'compensador rotante' de alta precisión con la veloz tecnología CCD. Esto permite mediciones de alta velocidad: min. 390 longitudes de onda en < 1 segundo. Está disponible tanto para configuración 'ex situ', como 'in situ'.

Features
Ex-situ, in-situ, o en línea
Elipsómetro de compensador rotante
Diseño modular con variedad de opciones y configuraciones
Máximo rango espectral 193 a 1690 nm
Completamente automatizado

El M-2000 utiliza nuestra tecnología patentada de elipsómetro con compensador rotante (RCE) para alcanzar una alta precisión y exactitud. El diseño RCE es compatible con la detección avanzada CCD para medir TODAS las longitudes de onda simultáneamente. Este elipsómetro recoge más de 700 longitudes de onda desde la ultravioleta hasta la cercana a la infrarroja. Con un diseño modular, el M-2000 puede añadirse directamente a tu cámara de procesamiento o puede ser configurada en cualquiera de nuestros soportes de sobremesa. Un diseño avanzado garantizada mediciones elipsométricas precisas para cualquier muestra e incluye características de mediciones como elipsometría general, matriz Mueller y deporalización.

Rango de espectro disponible

  • M-2000V: de 370 a 1000 nm (390 longitudes de onda)
  • M-2000U/X: de 245 a 1000 nm (470 longitudes de onda)
  • M-2000D: de 193 a 1000 nm (500 longitudes de onda)
  • NIR extension:de 1010 a 1690 nm (200 longitudes de onda)

Opciones disponibles

  • Ampliación NIR
  • La matriz de diodos NIR amplía la gama de los modelos "V", "U/X" y "D" a 1690 nm con 200 longitudes de onda adicionales, de 1000 nm a 1690 nm


Disponibles platinas ex-situ

  • Platina de ángulo único, soporte horizontal para muestras: 65°
  • Ángulo de incidencia controlado por ordenador, medido por goniómetro, montaje para muestras vertical (20 to 90°) u horizontal (45 to 90°)


Paquete in situ

Se incluyen ventanas UHV para montar en cámaras UHV, posicionadores de inclinación y elementos de montaje para bridas de vacío de 2"

Desplazamiento de muestras automatizado

  • 100 mm x 100 mm XY (solo montaje de muestras horizontal)
  • 200 mm x 200 mm XY (solo montaje de muestras horizontal)
  • 300 mm x 300 mm XY (solo montaje de muestras horizontal)


Desplazamiento manual de muestras

  • XY de 50 mm x 50 mm (solo montaje de muestras horizontal)
  • XY de 100 mm x 100 mm (solo montaje de muestras horizontal)


Enfoque

Las sondas de enfoque son acoplables para lograr el tamaño del punto de 150 a 300 micras (dependiendo del modelo)

Para las mediciones de un haz colimado, las sondas de enfoque pueden ser fácilmente eliminadas

**disponible min. tamaño de punto: 25 µm con M-2000F (ángulo de incidencia fijo)

Constantes ópticas y espesor, anisotropía, gradiente del índice, composición

El M-2000 es un sistema extremadamente preciso para determinar las constantes ópticas, el espesor, la anisotropía óptica, el gradiente del índice, la composición, etc.

Perfil de homogeneidad del espesor

En combinación con una fase de mapeo automatizado XY, la homogeneidad de la muestra, el perfil del espesor puede determinarse mediante recetas de medición automatizada.

Mediciones dinámicas y cinética de la adsorción

Las mediciones dinámicas pueden realizarse o bien con el paquete que se añade in situ a la cámara de deposición UHV, o bien mediante celdas de líquido líquidas y térmicas anexas ex situ a un M-200. Por lo tanto, la adsorción dependiente del tiempo de las moléculas de un medio líquido puede ser rastreada y medida en tiempo real. Alternativamente, los cambios dependientes de la temperatura de la muestra se pueden determinar, como transiciones de fase o la temperatura de transición vítrea de los polímeros.

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