Elipsómetro espectroscópico para Vacuum Ultra Violet: VUV-VASE

de Woollam Co.

El elipsómetro espectroscópico VUV-VASE de ángulo variable es el estándar en caracterización óptica de materiales con utilización de aplicaciones de litografía. Su medición abarca desde el ultravioleta de vacío (VUV) al cercano a infrarrojo (NIR). Esto proporciona una increíble versatilidad para caracterizar múltiples tipos de materiales: semiconductores, dieléctricos, polímeros, metales, multicapas y ahora líquidos, tales como fluidos de inmersión.

Features
Elipsometría VUV
Rango espectral 146 to 1700 nm
Purga de las muestras
Completa automatización

Rango espectral amplio

Disponible desde 146 nm a 1700 nm de rango espectral con la actualización NIR.

Alta precisión

El AutoRetarder, que ha sido patentado, permite mediciones precisas de Delta para todo el rango completo (0-360 grados) incluyendo a 0 y 180 grados. Esto garantizada la mejor medición de cualquier tipo de muestras.

Fácil carga de las muestras

El VUV-VASE emplea una cámara de bloqueo de carga para cargar y purgar la muestra fácilmente.

Protección de las muestras

El VUV-VASE se ha diseñado con un monocromador frente a la muestra a fin de minimizar la luz que explora la muestra del usuario. Esto ayuda a proteger los materiales fotosensibles.

  • Rango del espectro: 146 a 1100 nm
  • Ampliación NIR: a 1700 nm o 2500 nm
  • Montaje vertical de la muestra
  • Ángulo motorizado de incidencia medido por goniómetro: 25° to 90°
  • AutoRetarder
  • Elipsometría, transmitancia y reflectancia
  • Célula de bloqueo de carga para muestras de gran tamaño: panel de 300 mm, 6"" fotomáscaras
  • Mapeo de muestras XY
Fotoresistencia

Mide el grosor de la película y el índice de refracción (n and k) a 157 nm, 193 nm, 248 nm.

Transitiones electrónicas

Semiconductores

La brecha energética, las transiciones electrónicas y los puntos críticos de los materiales semiconductores pueden ser medidos en el rango espectral VUV con un instrumento independiente que normalmente requiere acceso a una línea de luz de sincrotrón.

Anisotropía

Mediciones anisotrópicas avanzadas (SE generalizadas) proporcionan información adicional para ayudar a caracterizar plenamente los materiales anisotrópicos uniaxiales (dos sets de constantes ópticas) y biaxiales (tres sets de constantes ópticas).

El VUV-VASE puede medir tanto en modo de elipsometría de reflexión, como de transmisión. Las gráficas muestran funciones dieléctricas ordinarias y extraordinarias de 4H SiC medidas con VUV-VASE.

Revestimientos antirreflectantes
Óptica de Stepper
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