Elipsómetro dual con compensador rotante RC2

de Woollam Co.

El RC2 es el primer elipsómetro espectroscópico con dos compensadores rotantes. Combina las mejores características de los instrumentos anteriores con nueva e innovadora tecnología: compensador dual rotante, diseño acromático de los compensadores, fuente de luz avanzada y diseño del espectrómetro de última generación. El RC2 es una solución casi universal para las diversas aplicaciones de elipsometría espectroscópica y elipsometría de matriz Mueller.

Features
Ex-situ, in-situ, o en línea
Elipsómetro de compensador rotante
Diseño modular con variedad de opciones y configuraciones
Máximo rango espectral de 193 a 2500 nm
Completamente automatizado

El diseño RC2 es el resultado de 25 años de experiencia. Combina las mejores características de los instrumentos anteriores con nueva e innovadora tecnología: compensador dual rotante, diseño acromático de los compensadores, fuente de luz avanzada y diseño de espectrómetro de última generación. El RC2 es una solución casi universal para diferentes aplicaciones de elipsometría espectroscópica. Sobre la base de la modularidad, el RC2 se puede conectar directamente a las cámaras de procesamiento del usuario o ser configurado en cualquiera de nuestros soportes de sobremesa. Un diseño avanzado garantizada mediciones elipsométricas precisas para cualquier muestra e incluye características de mediciones para elipsometría general, matriz Mueller y deporalización.

Velocidad rápida de medición

La operación sincrónica de ambos compensadores proporciona datos de gran precisión, sin necesidad de esperar los datos"media de la zona" para los elementos ópticos. Simultáneamente recoge todo el espectro (más de 1.000 longitudes de onda) en una fracción de segundo.

Avanzada fuente de luz

La fuente de luz de última generación incluye la intensidad del haz controlado por ordenador para optimizar automáticamente la señal en cualquier muestra (reflexión baja o alta).

Rango de longitud de onda

  • RC2-U: 245 to 1000 nm
  • RC2-D: 193 to 1000 nm
  • Ampliación de NIR a 1690 nm


Tasa de obtención de datos

Mide el espectro completo en 1/3 de segundo –incluso los tipos de datos avanzados como la matriz Mueller.

Disponibles platinas ex situ

  • Ángulo fijo 65°
  • Auto ángulo horizontal: 45° - 90°
  • Auto ángulo vertical: 20° - 90°


Opciones

Casi todas las opciones disponibles para el M-2000 también están disponibles para el RC2:

Platina automatizada de mapeo XY (desde 100 mm hasta 450 mm)

  • Rotador de muestras
  • Opción de enfoque
  • Células líquidas
  • Platinas térmicas
  • Etc.
Constantes y espesor óptico, anisotropía, gradiente del índice, composición

El RC2 es un sistema extremadamente preciso para determinar las constantes ópticas, el espesor, la anisotropía óptica, el gradiente del índice, la composición, etc.

Perfil de homogeneidad del espesor

En combinación con una fase de mapeo automatizado XY, la homogeneidad de la muestra, el perfil del espesor puede determinarse mediante técnicas de medición automatizada.

Mediciones dinámicas y cinética de la adsorción

Las mediciones dinámicas pueden realizarse o bien con el paquete añadido in situ a la cámara de deposición UHV, o bien con las celdas de líquido líquidas y térmicas anexas ex situ a un RC2. Por lo tanto, la adsorción dependiente del tiempo de las moléculas de un medio líquido, puede ser rastreada y medida en tiempo real. Alternativamente, los cambios dependientes de la temperatura de la muestra se pueden determinar, como transiciones de fase o la temperatura de transición vítrea de los polímeros.

Follow us: twitter linkedin facebook
European offices
© LOT Quantum Design 2016