Elipsómetro de rango espectral más amplio VASE

de Woollam Co.

El VASE es nuestro elipsómetro más preciso y versátil para la investigación de todo tipo de materiales: semiconductores, dieléctricos, polímeros, metales, multicapas, etc.

Features
Elipsómetro espectroscópico ex-situ
Amplio rango de espectros desde 193 a 3200 nm
Máxima exactitud de los datos
Alta resolución espectral y perfecta flexibilidad I + D

Combina una gran exactitud y precisión con una amplia gama espectral 193-3200 nm. La longitud de onda variable y el ángulo de incidencia permiten capacidades de medición flexibles incluyendo:

  • Elipsometría de reflexión y transmisión
  • Elipsometría general
  • Intensidad de la reflectancia (R)
  • Intensidad de la transmitancia (T)
  • Polarización cruzada R/T
  • Depolarización
  • Escaterometría
  • Matriz Mueller

Exactitud máxima de los datos

El VASE cuenta con un elipsómetro de analizador rotante (RAE) en combinación con nuestro sistema patentado AutoRetarder para una exactitud de los datos sin equivalente en el mercado.

Selección de longitud de onda de alta precisión

El monocromador de exploración HS-190TM está diseñado específicamente para elipsometría espectroscópica. Optimiza la velocidad, la precisión de la longitud de onda, y la salida de luz, al mismo tiempo que realiza un control automático de la selección de las longitudes de onda y la resolución espectral.

Mediciones flexibles

El VASE cuenta con un soporte vertical de muestras para dar cabida a una gran variedad de geometrías de medición incluyendo la reflexión, transmisión y dispersión.

  • montaje vertical de las muestras
  • ángulo de incidencia controlado por ordenador calculado por el goniómetro 20° - 90°
  • monocromador de cámara individual o doble
  • rango espectral 250 - 1100 nm (estándar)
  • DUV de 193nm
  • NIR a 1700 nm, 2500nm o 3200nm
  • unidad de mapeo controlada por ordenador: 50mm XY o 150mm XY
  • rotador de muestras controlado por ordenador
  • AutoRetarder
  • desplazamiento XY manual de 50 mm
  • opción de rayo enfocado de 200 µm
  • cámara
  • crioestación (4.2 a 500 K o bien 4.2 a 800 K)
  • célula térmica (RT a 300 °C o bien -80 °C a +600 °C)
Semiconductores

Pueden ser medidos la brecha energética, las transiciones electrónicas y puntos críticos para materiales semiconductores, tales como GaN, InP, SiGe, CdTe, etc. Una óptima resolución de longitud de onda y la capacidad para medir la despolarización garantizan constantes ópticas precisas.

Películas gruesas

Para películas más gruesas (>5 μm), se requiere una buena resolución espectral para resolver las características de oscilación de la interferencia de los datos Ψ/Δ. El tamaño del escalón del monocromador, previamente definido por el operador, y el ancho de banda permiten resolver muestras con características espectrales de tamaño pequeño.

Materiales fotosensibles

El monocromador se coloca frente a la muestra de manera que a la muestra llega solo la luz de intensidad baja. Esto impide una exposición de las muestras sensibles.

Películas anisotrópicas y metamateriales
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