Elipsómetro Espectroscópico

Elipsometría, elipsometría de longitud de onda única o elipsometría espectroscópica es un método para determinar el espesor de las capas y las constantes ópticas de las películas finas o los sustratos. Un elipsómetro ya sea de longitud de onda única o un elipsómetro espectroscópico mide el cambio en la polarización en la reflexión (o bien la transmisión en el caso de muestras anisotrópicas).

Ofrecemos una amplia gama de elipsómetros espectroscópicos, optimizados para su aplicación personalizada. El elipsómetro flexible VASE, basado en un monocromador de exploración es ideal para todo tipo de aplicaciones de I+D, y cubre el rango espectral más amplio en el mercado desde 140 a 3200 nm, o, si se combina con el IR-VASE, hasta de 30µm Alternativamente, nuestros rápidos elipsómetros espectroscópicos de compensador rotativo M-2000 y RC2, basados en CCD, están disponibles para aplicaciones tanto in situ, como ex situ.

What is Ellipsometry?

This brief introduction to ellipsometry is targeted to the novice and provides a fundamental description of ellipsometry measurements and typical data analysis procedures. The primary applications of ellipsometry are also covered.

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El elipsómetro espectroscópico in-situ iSE de Woollam, ha sido diseñado para ser el primer instrumento para el control y monitorización en tiempo real de la producción de lámina delgada. Mediante la contrastada tecnología, el iSE permite a los usuarios optimizar las propiedades ópticas de las películas depositadas, controlar el crecimiento de la película con sensibilidad sub-angstrom y controlar la cinética de crecimiento.

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El elipsómetro M-2000 combina el método de 'compensador rotante' de alta precisión con la veloz tecnología CCD. Esto permite mediciones de alta velocidad: min. 390 longitudes de onda en < 1 segundo. Está disponible tanto para configuración 'ex situ', como 'in situ'.

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El RC2 es el primer elipsómetro espectroscópico con dos compensadores rotantes. Combina las mejores características de los instrumentos anteriores con nueva e innovadora tecnología: compensador dual rotante, diseño acromático de los compensadores, fuente de luz avanzada y diseño del espectrómetro de última generación. El RC2 es una solución casi universal para las diversas aplicaciones de elipsometría espectroscópica y elipsometría de matriz Mueller.

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El elipsómetro espectroscópico Alfa-SE es un sistema rápido y de bajo coste para medir el espesor de las películas y sus constantes ópticas. Todo está contenido en un paquete increíblemente pequeño. Es la herramienta ideal para colocar en sobremesa. Está controlada mediante un puerto USB del ordenador.

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El VASE es nuestro elipsómetro más preciso y versátil para la investigación de todo tipo de materiales: semiconductores, dieléctricos, polímeros, metales, multicapas, etc.

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El elipsómetro espectroscópico VUV-VASE de ángulo variable es el estándar en caracterización óptica de materiales con utilización de aplicaciones de litografía. Su medición abarca desde el ultravioleta de vacío (VUV) al cercano a infrarrojo (NIR). Esto proporciona una increíble versatilidad para caracterizar múltiples tipos de materiales: semiconductores, dieléctricos, polímeros, metales, multicapas y ahora líquidos, tales como fluidos de inmersión.

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El IR-VASE es el primer y único elipsómetro espectroscópico que abarca todo el rango espectral desde 1,7 a 30 micras (de 333 a 5900 números de onda). El IR-VASE puede determinar tanto el n, como el k, para materiales en el ancho completo del rango espectral sin extrapolar información fuera del rango de medición, como con un análisis Kramers-Kronig. Como otros elipsómetros Woollam, el IR-VASE es perfecto para películas finas o materiales volúmicos, incluyendo dieléctricos, semiconductores, polímeros y metales.

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T-Solar, un M-2000 con intensidad especial optimizada, satisface los requerimientos de medición para superficies de texturas paneles de Si.

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