Fotolitografía

MicroWriter de Durham Magneto Optics (DMO)

El MicroWriter 3 es un sistema de escritura directa de Fotolitografía. Es un equipo flexible y de altas prestaciones que ofrece todo lo que se puede requerir en alta resolución, combinado a un rápido procesado. El MicroWriter Baby es el equipo de litografía óptica más compacto en el mercado a un precio muy contenido y sin pérdida de prestaciones.

Features
Alta velocidad de escritura
Alta velocidad de escritura
Fácil uso
Económico
Configuración flexible

El MicroWriter 3 emite mediante un fotodiodo a 385 nm el cual puede ser usado para g-, h- y i-line resists (positivo y negativo como también SU-8). El sistema dispone de cuatro resoluciones diferentes que pueden ser intercambiadas mediante software (0.6 µm, 1 µm, 2 µm and 5 µm). MicroWriter 3 incluye un perfilómetro óptico como también una herramienta de inspección de obleas (wafer). Adicionalmente se puede incluir un fotodiodo con emisión a 405 nm o a 375 nm.

Microwriter SpecificationML3 BabyML3 Baby PlusML3 MesaML3
Maximum substrate size [mm]155 x 155 x 7155 x 155 x 7155 x 155 x 7230 x 230 x 15
Maximum writing area [mm]149 x 149149 x 149149 x 149195 x 195
Exposure resolutions [µm]11 and 50.6, 1, 50.6, 1, 2, 5
Surface tracking autofocus systemYesYesYesYes
Greyscale lithographyYesYesYesYes
Alignment microscope objectivesx10x3 and x10x3, x10, x20x3, x5, x10, x20
Automatic lens changer for exposure resolution and alignment microscopeNoYesYesYes
Backside alignmentNoNoNoAvailable as option
Exposure wavelength [nm]405, 385 as option 405, 385 as option405, 385 as option385
Maximum writing speed20 mm2/minute at 1 µm 20 mm2/minute at 1 µm 120 mm2/minute at 5 µm10 mm2/minute at 0.6 μm,20 mm2/minute at 1 μm 120 mm2/minute at 5 μm20 mm2/minute at 0,6 µm, 50 mm2/minute at 1 µm, 100 mm2/minute at 2 µm , 180 mm2/minute at 5 µm
Overlay alignment accuracy at best resolution [µm]±2 ±1±1±0,5
Minimum addressable grid [nm]200200100100
Motion stage minimum XY step size [nm]20202020
Optical surface profiler Z resolution [nm]not applicalble200200100
Automatic wafer inspection toolNoYesYesYes
Virtual mask aligner toolNoAvailable as optionAvailable as optionYes
Temperature stabilized enclosureNoNoNoYes
Supplied with vibration isolating optical tableNoNoNoYes
Mask design softwareOpen source KLayout supplied. Clewin available as optionOpen source KLayout supplied. Clewin available as optionOpen source KLayout supplied. Clewin available as optionClewin supplied
Can be upgraded?YesYesYesNo
Contactos eléctricos

Fácil y rápida creación de diferentes diseños y patrones para contactos eléctricos.

Prototipado rápido

The MicroWriter 3 es ideal para el prototipado rápido gracias a la combinación de alta velocidad y alta resolución.

MEMS / NEMS
Sensors
Microfluidics and lab-on-a-chip
Nanotechnology
Materials science
Graphene and other 2-dimensional materials
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